全反射X荧光光谱技术（TXRF）基于X荧光能谱法（EDXRF），但与能谱分析有着明显的区别：传统EDXRF采用原级X光束以45°角轰击样品，而TXRF采用毫弧度的临界角（接近于零度角）入射。由于采用此种近于切线方向的入射角，原级X光束几乎可以全部被反射，照射在样品表面后，尽可能上避免样品载体吸收光束和减小散射的发生，同时减小了载体的背景和噪声，亦可减少样品使用量。

与原子团释放及释放出光谱仪步骤相较，TXRF有着下面特色：1、不能不更复杂的样板前补救时，水分子释放或ICP的样板前补救占了所有解析时的乃至一些期限，一般是时长些H虽然一段时间，与此同时TXRF能合理有效以免前补救获取的不确定度；2、在易析出要素有优异测量作用，如Hg/As/Se在消解整个过程中会海损，Cl/Br/I等ICP测量作用偏差；3、检测工具设计货品更加多，高达80多种, 设计进行分析範圍从Na包括到U；

4、检出限更低，多数元素在ppt级，尤其Pb/Rh等元素，而原子吸收或ICP为ppb级。

与ICP-MS方法步骤相比较，俩者验出限根本同比增加，但TXRF就能够容忍ICP-MS下面难题：1、ICP-MS的耐碱度很差，定量分析高钙镁离子检样时排除限差（S/Ca/Fe/K/Se等），同样酸基体面对检测应响不错，如酸洗、高氯酸、磷酸、磷酸会诱发质谱电磁波辐射；2、ICP-MS会按照质核比加测原子，当存在的同质异位素时，真难的达成加测；3、ICP-MS所需超净测试室，预算太贵；

4、ICP-MS运行成本高，取样锥、涡轮泵、检测器为易损件。