等离子发射光谱仪能量作用于样品，当某一能量施加到一个原子上，一些电子就改变其轨道，当这些电子返回到原来的轨道时，以一定波长的光形式恢复到原来的状态，一个含有几种不同元素的样品，将产生有每种元素特定的波长组成的光，通过用一色散系统将这些波长分开，能测定存在哪一种元素和这些波长中每一种波长的强度，这些强度和相应的元素的浓度成一定的函数关系。

　　开机测定前，必须做好安排，事先标好各项准备工作，切忌在同一段时间里开开停停，等离子发射光谱仪频繁开启容易造成损坏，这是因为仪器在每次开启的时候，瞬时电流大大高于运行正常时的电流，瞬时的脉冲冲击，容易造成功率管灯丝断丝，碰极短路及过早老化等，因此使用中需要倍加注意，开机后尽量把工作完成，不要中途关停机。